第3台和第4台FLEXion系列离子注入机已分别交付给德国的一家大型半导体制造商和印度的半导体实验室。
这些生产设备配备了最新的硬件和软件升级,旨在优化III-V族衬底的离子注入工艺。除SiC高温/高能配置外,III-V族配置是FLEXion系列中第二种可用的生产型离子注入机。
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