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离子注入服务

Global Foundry 与卓越的技术支持

作为离子技术领域的全球领先企业,Ion Beam Services (IBS) 提供一套全面的解决方案,旨在满足半导体、医疗和工业领域的严苛要求。

我们采用“整体解决方案”的方法,确保您的工艺得到优化,从而实现最佳性能和可靠性。

我们的核心解决方案

离子掺杂服务

精密离子注入代工厂

我们提供最先进的代工服务,为研发及大规模生产提供高精度离子注入服务。我们专注于在原子层面上改性材料的电学、光学和物理特性。

用于研发和生产的高性能离子注入​
IBS 运营着欧洲功能最全面的离子注入代工厂之一。我们支持广泛的应用领域,从标准的 CMOS 掺杂到针对碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)等宽禁带半导体的专项处理。
如需兴奋剂服务,请联系我们
全面的基质与离子种类分析能力
全面的基材与离子种类处理能力 我们在基材处理和化学物质种类方面具备无与伦比的灵活性,确保即使是最复杂的材料要求也能得到精准满足。
如需兴奋剂检测服务,请联系我们
晶圆尺寸与材料兼容性
· 基板范围:全面支持2英寸(50毫米)至12英寸(300毫米)的晶圆。
· 基板材料类型:硅、玻璃、聚合物、陶瓷及化合物半导体(III-V族、II-VI族)。
· 非标准基板:在处理易碎、超薄或异形基板方面拥有专业技术。
如需兴奋剂服务,请联系我们
庞大的离子种类库
凭借包含65多种不同离子种类的库,我们可以进行:
· 标准掺杂剂:硼(B)、磷(P)、砷(As)。
· 特种离子:氢(H)、氦(He)、氧(O)、惰性气体。
· 金属离子:用于先进材料研究的过渡金属和稀土元素。
如需兴奋剂服务,请联系我们
先进计量与过程控制
为了保证最高质量,我们的铸造服务依托于严格的计量和表征工具:
· SIMS(二次离子质谱法)用于深度剖面分析。
· SRP(扩散电阻剖面分析)用于电学活性成像。
· 面电阻成像,以确保整个晶圆的均匀性。
如需兴奋剂服务,请联系我们

我们的核心解决方案

客户支持

全球工程卓越

在 IBS,我们深知设备运行时间至关重要。我们的全球支持网络致力于提供快速、专业的协助,以确保您的离子束设备保持良好性能。

全球现场服务工程(FSE)
我们拥有一支技术精湛的现场服务工程师团队,随时可接受国际任务。我们为所有主要品牌的离子注入机提供现场安装、调试和紧急故障排除服务,包括应用材料(Applied Materials)、Axcelis、瓦里安(Varian)和IBS。
如需客户支持,请联系我们
定制化维护合同
我们提供根据您的运营需求量身定制的分级维护解决方案:
· 预防性维护(PM):定期安排检查和保养,以防止意外停机。
· 故障维修:对关键系统故障作出快速响应。
· 全包服务合同:全面覆盖人工、差旅及备件费用。
如需客户支持,请联系我们
技术培训与知识转移
通过我们的专业培训模块,提升团队能力。我们提供:
· 操作员培训:安全、高效的系统操作。
· 维护培训:面向现场工程师的深入技术课程,帮助其处理一级维修和日常维护工作。
如需客户支持,请联系我们

our core solutions

离子注入机的升级

离子注入机的升级

通过我们先进的升级和改造方案,延长现有设备的生命周期,从而最大限度地提高您的投资回报率。

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通过性能升级延长设备使用寿命
IBS 并非要替换旧系统,而是提供解决方案,使老旧的植入机达到现代标准。我们的改造方案可提高可靠性、吞吐量和工艺重复性。
联系我们
软件和控制系统升级
凭借包含65多种不同离子种类的离子库,我们可以进行:
我们将过时的控制硬件和软件替换为现代、用户友好的界面。
· 增强的连接性:与现代晶圆厂自动化系统以及SECS/GEM协议集成。
· 改进的工艺监控:先进的数据记录和实时故障检测。
联系我们
针对新兴技术的专项改造
我们提供专门的硬件升级方案,以优化传统设备,使其适应现代材料的加工需求:
· 高温掺杂:针对SiC加工的设备改造方案。
· 增强型冷却系统:适用于高剂量、低温的应用场景。
· 机器人搬运系统升级:旨在减少污染并提高晶圆安全性。
联系我们

我们的核心解决方案

部件

可靠的备件和零部件维修

IBS 是您在全球范围内值得信赖的合作伙伴,为您提供适用于所有离子注入子系统的高品质耗材和专业的维修服务。

探索我们的配件商店: 立即访问您的客户专区

通过您专属的客户门户,您可以查阅我们全面的备件目录并查看您的订单记录。

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