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离子束服务新闻与新闻稿

SOI/POI制造设备

H-Cut Process Macro

IBS 很高兴宣布,其第七台经过全面翻新和性能增强的大电流离子注入机已交付,该设备进行了多项重大升级,用于制造Silicon-On-Insulator(硅-On-Insulator)和Piezoelectric-On-Insulator(压电-On-Insulator)衬底。

此次交付是长期合作中的最新成果,该合作旨在为欧洲和中国的主要制造商提供用于生产 SOI/POI 基板的高端设备。POI 是用于实现 5G 应用射频滤波器的下一代工程化基板。

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