现可根据需求提供6英寸SiC高温掺杂服务。
凭借此次最新升级，IBS现可对4英寸和6英寸基片进行最高600°C的掺杂，并可进行最高1 800°C的退火处理。
得益于设备上配备的专用高温处理站，还可进行自动连续掺杂。
Ion Beam Services acquires C-Click
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