首台FLEXion-400离子注入机——作为IBS全新FLEXion产品线的最新发展成果——已交付中国一家主要研究机构，并自2018年5月起全面投入运行。

FLEXion产品线是IBS开发的新一代中电流离子注入机，与IMC离子注入机相比，在生产效率和性能方面实现了飞跃式进步。

FLEXion离子注入机提供200 kV和400 kV两种加速电压型号，均配备高选择性分析磁铁和IHC离子源。

该系列产品经过优化，可满足SiC和III-V族衬底市场的批量生产需求。